particle & dust

인체에 침투가능한 먼지크기
코 : 5 ~ 10 ㎍/m3
목 : 2 ~ 5㎍/m3
기관지 : 1 ~ 2㎍/m3
폐 : 0.1 ~ 1㎍/m3
반도체 공정
ISO 3-4
(Class I-10)
ISO 5
(Class 100)
ISO 6
(Class 1,000)
ISO 7
(Class 10,000)
ISO 8
(Class 100,000)
SLCON CRYSTALLIZATION
WAFER MANUFACTURE
DIFFUSON
WAFER PROCESSING
PHOTOTHOGRAPHY
IC CHIP MANUFACTURE
ASSEMBLY
INSPECTION
SMT
SURFACE CLEANING
액정
ISO 3-4
(Class I-10)
ISO 5
(Class 100)
ISO 6
(Class 1,000)
ISO 7
(Class 10,000)
ISO 8
(Class 100,000)
PHOTOTHOGRAPHY
COLOR FILTER
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